電子束蒸鍍機
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| 英文名稱 | E-beam Evaporator |
| 功能說明 | 利用電子束轟擊並加熱靶材，使靶材表面材料蒸氣壓升高並進行鍍膜 |
| 廠牌型號 | Junsun Technologies Co.EBS-500 |
| 儀器規格 |
1.極限壓力: 5 x 10-7 torr (within 12 hour) 2.操作壓力: 5 x 10-6 torr (within one hour) 3.試片最大尺寸：4″ (max. 7pc) 4.最高溫度：250°C 5.旋轉速率：2 to 40 rpm |
| 建構年分 | 2008 |
| 收費標準 | 開機費907元，額外加收20.41元/分 |
| 備註 | 1. 校外學術單位：基本收費標準 X 1.5。 2. 校外營利單位：基本收費標準 X 3。 |
| 關鍵字 | E-beam |
| 放置位置 | 奈微米共同實驗室 |
| 管理者 |
機械工程學系/奈微米共同實驗室 沈炳臣博士 電話：03-4638800 分機：2479 |