表面輪廓儀
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| 英文名稱 | Surface Profiler |
| 功能說明 | 以探針進行物體表面輪廓測量 |
| 廠牌型號 | KLA-TencorP-16+ |
| 儀器規格 |
1.最大水平掃描範圍：200mm 2.橫向解析度：X = 25nm、Y = 1µm 3.最大垂直掃描範圍：1mm 4.垂直解析度：< 1Å 5.掃瞄速度：2 μm/sec to 25 mm/sec |
| 建構年分 | 2008 |
| 收費標準 | 開機費453元，額外加收13.61元/分 |
| 備註 | 1. 校外學術單位：基本收費標準 X 1.5。 2. 校外營利單位：基本收費標準 X 3。 |
| 關鍵字 | RF/DC Sputter |
| 放置位置 | 奈微米共同實驗室 |
| 管理者 |
機械工程學系/奈微米共同實驗室 沈炳臣博士 電話：03-4638800 分機：2479 |