X射線光電子能譜儀

l  表面分析(Surface survey)：樣品表面之成份分析。

l  表面化學組態分析(Narrow scan)：樣品表面之元素化學組態鍵結分析。

l  縱深分析(Depth Profile)：樣品表面以 Ar 離子濺蝕，分析不同深度的元素成分及比例之縱深分布。

l  圖譜分析(Mapping)：檢測樣品表面分析區域的元素訊號，得到分析區域表面之元素分布影像圖。

l  線掃描(Line scan)：檢測樣品表面直線距離的元素訊號，得到直線距離表面之元素分布圖。

l  角度解析分析(Angle-resolved Analysis)：檢測薄膜樣品在不同角度之表面成份鍵結分析。(分析角度區間:0°~60°，角度間隔:10°)

Thermo Fisher Scientific

K-Alpha X-ray photoelectron spectrometer

1. X光光源(X-ray   Source)：Al K-α

2. X-ray Spot Size：30μm~400μm

3.真空系統(Analysis   chamber ultimate vacuum)： 5 x 10-9 mbar

4.電荷補償系統(Charge   Neutralization) Flood Gun

5.離子噴濺系統(Ion Sputtering)：Ar+ Ion Gun (0.2keV~3keV)

300元(基本費)+550元/小時 (未稅)，需先與管理人員確認可預約時段，預計三週內交件。

燃料電池中心

趙珍翌小姐

電話:03-4638800分機:3088
Email:This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.